半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术顶级公测一起涉重废水处理工艺——MVR二次循环往复零排大型项目
该项目蓝本
半导体设备技术中高端公测好新项目,人数150立米米/天,是首位半导体设备技术公测配置涉重废气处理工艺零排好新项目。公测的环节的镀镍、镀铜、引线骨架家电清洗会带来含镍含铜废气处理工艺,该项目要"无尾水外排",产水彻底回收于产线。
污水水质特征英文与关键点
焦化废水以含镍作为主料(含量10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH下降大(2–12),有光刻胶使用量的少许高分子化合物物。公测厂安装地点紧,规范处里公用设施占地赔偿小;零排表明着浓水不可清运很多,必需本地网蒸发掉晶体前馈。
操作加工制作工艺 自驾路线
产品 走"分质自身 → 预整理除杂 → 生物学沉淀出的除镍 → 净化 → UF+二级RO → MVR强硬间歇化掉 → 冷却水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢脱色钠转为Ni(OH)₂放置,后加塑炼钠深度的气体吸附残留物镍(塑炼镍Ksp比氢脱色镍更小,可以将镍压到0.1毫克/升这);
沉垫出液经多物料活性炭滤出+安全活性炭滤出后进UF,再进两级RO,产水马上回产线拆洗;
RO浓水(含盐+稳定度血本属)进MVR强迫配置往复空调冷凝器器,强迫配置往复能扛高含盐积灰,空调冷凝器器内置优酷云洁净,不能堵;
MVR冷却水回到最初回收地下室集水井,多效蒸发残液委外焚烧炉或有所作为危废处理处里,这个工业区无液体外排。
重要的生产设备优势:表明
MVR强制性无限循坏优于常见的降膜挥发掉器,无限循坏流体密度高、冷却面后易结镍盐/碳酸盐垢,好公测那样"蓄水量太大但水硬度杂"的情景;二合一化撬装设定征地赔偿比一般挥发掉器塘+多效挥发掉器方案范文小60%上;废气侧配套工程生物制品滤池,把调接池和污水间的废气提取后挥发成CO₂和水,杜绝公测厂紧靠会议室区的其它异常的味道申诉。
除理使用效果与管理效益
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《镀膜环境破坏物废气减排规定》表三;所有的150立米米/天产水回收于首测产线擦洗,用于等量丰富水;垃圾(蒸发器残液+生活污水)量比传统意义"积淀+废气减排"方式减约70%。对富士康侧,首测顶目的环保市场准入卡点刻上通;