西安某光电器件外理芯片制做厂，晶圆粗加工步骤中行成含硅、氟的特俗生产生活污水，装修设计外理产值1200吨/日。生产生活污水基本成分复杂的，有效奈米级硅科粒及氢氧化钠，经典外理步骤仍未达到。 工业废水组成成分及种类 具体破坏物 ：氢氧化铁硅（100-500nm粒度分布）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 来历工艺技术 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP耐腐蚀设备抛光处理废液（40%）、设备喷洗水（15%） 解决方法工作流程 创新的技术主要包括"催化沉定+特中膜分割"的技术路线图： 钙盐滤渣 ：污泥脱水氯化钙彻底清除氟阳离子（生产CaF2发展） 水解酸化池反应迟钝 ：组合斜板沉淀池剂达成悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪用微细顆粒 反构建程序 ：脱盐率>98%，回收处理率75% 减压蒸馏凝结 ：浓水段完成氟化物零的排放 终究特效 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（高出一个国家特一级细则10mg/L） 硅含锌量：<5mg/L 水能源工业废水处理率：70%用做蒸发塔补充水分 垃圾变少：蒸馏渣滓量较傳統生产技术变少60%