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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术鑫霖环保芯片打造厂在晶圆制作期间中,的使用硅烷开展硅外延性生长发育,氮氧化合物洗滌塔引发高盐浓度含硅废渣。废渣具备pH动荡大(2-11)、硅水平高的显著特点,传统性加工形式易存在硅垢拥堵问題。 焦化废水组分及特征 污水最主要的营养成分为: 充分均匀溶解性硅酸盐 :SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 磷酸/氢空气氧化钠 :洗條塔耐酸碱洗條液使用量 粒子硅 :nm级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :制造原材料溶物带往 处理生产技术标准流程 企业创新选取"有级结合+膜过滤系统+多效蒸发析出"施工工艺: 特级采和 :用CaO调准pH至4-5,生产硅酸钙滤渣,硅出掉率60%。 两级结合 :加Na₂CO₃将pH升级至9,进两步沉积所剩硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置系统化 :0.02μm陶瓷制品膜滤出纳米技术级硅颗粒物,通量稳定可靠在80LMH。 MVR空调冷凝器器 :精炼高盐化工废水,心得出Na₂SO₄副物料,水使用率超90%。 终于疗效 总硅从1500mg/L低于5mg/L以上 砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L 机系统无积垢正常运作多于2年 每一年收售氢氧化钠钠结晶体约800吨

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