某半导体技术鑫霖环保芯片打造厂在晶圆制作期间中,的使用硅烷开展硅外延性生长发育,氮氧化合物洗滌塔引发高盐浓度含硅废渣。废渣具备pH动荡大(2-11)、硅水平高的显著特点,传统性加工形式易存在硅垢拥堵问題。
焦化废水组分及特征
污水最主要的营养成分为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
磷酸/氢空气氧化钠
:洗條塔耐酸碱洗條液使用量
粒子硅
:nm级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:制造原材料溶物带往
处理生产技术标准流程
企业创新选取"有级结合+膜过滤系统+多效蒸发析出"施工工艺:
特级采和
:用CaO调准pH至4-5,生产硅酸钙滤渣,硅出掉率60%。
两级结合
:加Na₂CO₃将pH升级至9,进两步沉积所剩硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统化
:0.02μm陶瓷制品膜滤出纳米技术级硅颗粒物,通量稳定可靠在80LMH。
MVR空调冷凝器器
:精炼高盐化工废水,心得出Na₂SO₄副物料,水使用率超90%。
终于疗效
总硅从1500mg/L低于5mg/L以上
砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L
机系统无积垢正常运作多于2年
每一年收售氢氧化钠钠结晶体约800吨