该厂为84英寸晶圆产量线配建的超蒸馏水系统,每日引起含硅污水150吨。污水底虽无巨资属,但硅分量高易积垢,且电阻器率需超过18MΩ·cm这样才能循环。原先的工作流程尚未能够满足新实行的《手机制造业水造成的污染排放标准量标准》(GB39731-2020)专门排放标准量标准值。
废气组成性能
主要的空气污物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(粒度分布0.1-1μm)
特色规范
:TOC<10μg/L,硼含量的<5μg/L
饮用水质性能指标
:低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物形式复杂性
外理的工艺的流程
转型升级用到"梯级膜区分+电去铁离子"整合工艺技术:
微滤预解决
:1μm陶瓷图片膜手机拦截大科粒硅,通量形成80LMH
铁离子更换不饱和树脂
:D201大孔环氧树脂使用性溶解硅酸团伙
二次RO体系
:一段出售率60%,第二种段应用高脱硼膜开关元件
EDI电去阴离子
:直流电压比热容2A/m²,定期剔除残存亚铁离子
太阳光的紫外线灭菌
:254nm红外光谱线含水量40mJ/cm²
技艺亮点纷呈
开发技术专用型阻硅剂(巧妙胺类挽回物),延迟膜造成的污染阶段3倍
EDI功能什么是创新流道装修设计,硅剔除率大幅提升至99.8%
在线免费硅深入分析仪器(精确测量依据0.1-500μg/L)实行精准扶贫调控
运转效果
经第3方论文检测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼水平从8μg/L减少为0.3μg/L
平台收购率从原40%的提升至68%
膜根换生长期增加至5年,年操作制造费大大减少35%