品牌原型
深圳某半导体行业厂出产具体步骤中也呈现高硅废气(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废气(F⁻ 200-300mg/L)。每种废气混合着后常建成氟硅酸胶体溶液,传统式化学沉定法无从保持稳定符合标准的。的项目想要一起消除硅和氟(尾气尾气排放标准的标准的:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废污水基本成分及由来
首要材质
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
特征
:晶圆刻蚀污水处理方法、CMP研磨设备污水处理方法、设备冲干净水
加工处理工艺技术步骤
协作积淀价段
:
两极想法池
:
独一级加药Ca(OH)₂产生CaF₂和CaSiO₃沉淀自己;
2级污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)提升水解酸化池。
固液拆分时段
:
超滤膜软件系统
:选择0.02μm直径膜配件虚报冒领电解质溶液硅和微细凝固物。
角度脱氟阶段中,
:
生物脱色铝物理吸附塔
:残留氟正离子粘附弄掉。
终极效用
出水量SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远依赖于部委条件。
反渗透装置整体通量稳定性在15LMH,普通机械洁净时间段延缓至60天。
淤泥经压滤后含水量率<65%,可按常见固体废弃物防范。