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半导体厂高浓度氨气酸性废气处理案例

某半导体器件厂高氨水浓度氯气+偏酸固体协同加工活动 一、工程底色与排放物亮点 该厂亚铁离子进入、吸附工艺程序制造高氧化还原电位氢氧化钠(NH₃,氧化还原电位5,000-8,000mg/m³)与含呈酸性有毒其他气体(HCl、H₂S,氧化还原电位1,000-2,000mg/m³)混和烟气,功率10,000m³/h。氢氧化钠具强条件酸类,含呈酸性有毒其他气体的腐蚀强,若进行排卸会达成铵盐颗粒肥料物,诱发区域中PM2.5被污染的,且对周邊农农物成长引起有害。 二、处里工艺定制定制 分为**“呈酸性中合洗涤剂+崔化脱色+化学活化炭吸附剂”**的联办工艺设备,面性欲望解决处理氯气与呈酸性空气的协同工作快速清理话题:

酸碱中和洗涤:废气首先进入双塔串联洗涤系统,第一塔喷淋稀硫酸(H₂SO₄)溶液,中和氨气生成硫酸铵(可回收作为化肥原料);第二塔喷淋NaOH溶液,中和HCl、H₂S等酸性气体,生成NaCl、Na₂S等无害盐类。

催化氧化:中和后的废气仍含微量NH₃与酸性气体,进入催化氧化装置,在Pt/Al₂O₃催化剂作用下,通过低温氧化(300-400℃)将残留污染物彻底分解为N₂、H₂O、CO₂。

活性炭吸附:最后通过活性炭吸附塔,捕获微量有机杂质与颗粒物,确保排放浓度≤50mg/m³(NH₃)、≤20mg/m³(HCl),满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)要求。

三、解决的设备核心理念主要优势

资源回收能力:硫酸铵回收系统可将中和产生的硫酸铵溶液浓缩结晶,作为农业肥料销售,年创收超50万元,实现“以废治废”的循环经济模式。

高效协同去除:双塔串联洗涤设计,可同时处理氨气与酸性气体,避免单一洗涤塔因pH波动导致处理效率下降;催化氧化装置采用抗中毒催化剂,可耐受硫化物、氨气等杂质,使用寿命超3年。

安全防爆设计:氨气与空气混合易形成爆炸性气体(爆炸极限15%-28%),洗涤塔与催化氧化装置均配备氮气吹扫、泄漏报警、紧急切断系统,确保处理过程零事故。

四、加工功效与的企业收益 工程项目投入使用后,二氧化氮、HCl释放氧浓度分别为降下来30mg/m³、10mg/m³,氢氧化钠铵年收售量超200吨,创收300万元;四周居名申诉量增涨95%,机构赢得“低能耗的社会重任奖”,在以政府中标中原则荣获“深绿生产商商”,支付订单量环比增长率率增长率30%。

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