该装修案例来源西北地方两家大形半导制作业客户,包括分娩集成系统电路原理基带芯片。在分娩工作中,晶圆进行维护清洁、蚀刻等工艺流程需选择大批量电子厂级磷酸(含量≥85%),从此引起较高浓度值含磷工业废水。客户原本处置场地设施不可能符合渐趋严格的的摆放标准规定(TP≤0.5mg/L),人们非常升级系统工程建筑。
废水处理方法组成成分及因素
污污工业废水处理工艺 主要是來在于四个重要环节:晶圆洗涤污污工业废水处理工艺 (占总用水量60%)、机器喷洗污污工业废水处理工艺 (30%)、砖面喷洗污污工业废水处理工艺 (10%)。环境质量功能表演为:pH值1.5-2.5,总磷渗透压800-1200mg/L,氟铝离子含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有氢化物发生器血本属(铜、锌等)。
除理加工过程
业务利用"预净化处理+化学上悠长岁月中+高等钝化+进一步过滤装置"的组合式加工制作工艺 :
改善池
:均衡性水质检测供水量,可设pH在线免费检测体统
一个反映池
:加药系统生石灰粉乳调准pH至8.5-9.0,行成Ca3(PO4)2积累
2级的反应池
:更改PAC和PAM强化装备斜管沉淀池效果好
斜板沉垫池
:保持固液剥离,污泥干化进来脱水等机系统
Fenton空气氧化模快
:H2O2与Fe²⁺推进使用分解有机肥料物
多有机溶剂过滤程序器
:石英砂砂+吸附性炭结构筛选,保证出水量纯净
亚铁离子更换控制系统
:进一点删去的残留物金属材质阴阳离子
然后成效
体统进行比较稳定后,水流水的硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,几项指标图远高于《微电子重工业水弄脏物排卸的标准》(GB 39731-2020)。去年减低磷排卸约15吨,活性污泥发生量较傳統制作工艺拉低40%,进行生产成本把握在8.十元/吨水。