产品历史背景
某大规模半导体行业制造出中小制造业企业在长角形中北部,最主要产出晶圆和集成块。在产出的过程 中,晶圆激光切割和cnc精密机械加工步骤生产大规模磨细液生活污水,日访问量废气量约50吨。伴随生活污水内有高氧化还原电位浮悬物、塑料化合物及巧妙填加剂,可以废气会对周围环境形成严重性感染,中小制造业企业急需用钱项目建设技术进行处理装置。
废水处理化学成分及来源于
粉磨液生活污水核心体现了于晶圆手工加工中的物理机cnc精密机械加工(CMP)繁琐流程,核心空气排放物还有:
悬屏颗粒状物
:二空气硫化硅、空气硫化铝等研磨机颗料,粒度在0.1-1μm,氧化还原电位万代高达2000mg/L。
黑色金属化合物
:铜、铁、锌等,产自抛光处理垫有损坏及晶圆外层金属制层,铜化合物溶度约50mg/L。
充分调用剂
:属于表面上可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性类物质
:pH值起伏较大大,一般 在2-11两者之间。
处置技术具体流程
对于废水治疗方法优点,应用“预治疗+血生化+角度治疗”搭配工艺设计:
缓解池
:匀衡环境质量出水量,“添加酸性调整pH至中性粒细胞。
水泥混凝土析出
:加药系统PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),的还原悬屏物和电解质溶液,沉降后SS的还原率>90%。
崔化钝化
:用到Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解有机会添加图片剂,COD去掉率达60%。
生物制品处置
:MBR膜微生物化学物反应器进十步化学降解余量巧妙物,COD降到100mg/L以下的。
铁离子调换
:用树脂胶吸附剂铜铁离子,水流铜含锌量<0.5mg/L。
砂滤+可溶性炭过虑
:确保喷水清澈见底,符合《城市污水综合性废气环保排放要求规定》(GB8978-1996)一层要求规定。
结果是结果
设备启动安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
回收率达40%,其他未挥发性有机物标准,年可以减少生产废水废气标准1.6万吨。
补救人工成本约15元/吨,远底于这个行业平均水平。